特種瓷絕緣材料一般以人工合成的氧化物、氮化物等為主要原料，通過特殊的措施如真空燒結、保護氣氛燒結、熱壓、熱等靜壓、微波燒結等手段燒制而成。隨著高導熱、高頻率、耐高溫、高強度等特殊環境的需求，特種瓷絕緣材料經歷了由單相的氧化物到非氧化物再到多相陶瓷基復合材料的發展過程。按照材料的性能，特種瓷絕緣材料具體可分為高導熱瓷絕緣材料，耐熱瓷絕緣材料和高強度瓷絕緣材料。

（1）氧化鈹瓷。氧化鈹瓷是一種性能優異的高導熱絕緣材料。原料一般采用活化燒結的工藝獲得，即用氫氧化鈹在1000℃-1200℃的氫氣氣氛中預燒而成。由于氧化鈹陶瓷的燒成溫度較高，通常在原料中加入適量的添加劑以降低其燒成溫度，燒成溫度為1600℃-1800℃。

在眾多絕緣材料中，氧化鈹具有僅次于金剛石的導熱性，在室溫下能以大約300W/m?K進行散熱。另外，氧化鈹瓷還具有較高的電阻率和較大的擊穿強度，是一種導熱性能優異的耐高溫瓷絕緣材料。氧化鈹瓷主要用于大功率集成電路基片和高可靠大功率電機基體。但由于氧化鈹有毒且價高，使其應用范圍受到限制。
 

（2）氮化鋁瓷。氮化鋁瓷是以氮化鋁粉末為原料，通過模壓、熱壓、等靜壓以及流延成型等方法成型后在氮氣氛中燒結而成。氮化鋁陶瓷具有導熱性好、電絕緣性好，熱膨脹系數小等一系列優良性能，其熱導率可達到180W/m?K。

由于氮化鋁具有很好的導熱性和電絕緣性，被大量用于混合集成電路和多芯片組件中作為散熱材料和電路元件以及互聯線承載體。

（3）氧化鋁瓷。氧化鋁是一種以剛玉為主晶相的陶瓷，一般含氧化鋁在90%以上。氧化鋁陶瓷目前分為高純型與普通型兩種。高純型氧化鋁陶瓷是含量在99.5%以上的陶瓷。普通型氧化鋁陶瓷按含量不同分為99瓷、95瓷、90瓷等品種。剛玉燒結需要1750℃以上的高溫，在制備氧化鋁瓷是，一般通過添加鈣、鎂的氧化物和硅酸鹽來降低燒成溫度，在1600℃-1700℃燒成。氧化鋁瓷具有機械強度高、高溫電氣絕緣性能優異、耐熱溫度高、耐磨性能好的特點，已被廣泛用于燃機的火花塞、電真空管、高頻瓷等領域。
 

（4）氮化硅陶瓷。氮化硅陶瓷是以氮化硅粉作原料，在氮氣中于1700℃以上的高溫下燒結而成。氮化硅陶瓷的強度高、韌性好、絕緣電阻大，因而是一種高性能的瓷絕緣材料，已在航天航空、電子信息等領域作為絕緣材料。